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滤波器
成果领域:
推广方式:
成果归属企业: 深圳大学
成果鉴定时间:
成果介绍
本发明实施例提供了一种微电极制备方法及微电极,其中一种微电极制备方法包括:建立三维微电极的几何模型;将所述几何模型切片分层,得到二维分层数据;采用所述二维分层数据制作菲林;采用所述菲林对涂有感光层的铜箔片进行曝光和化学蚀刻处理,得到多个层片;将多个所述层片按照预设顺序叠放并放入真空加热炉加热焊接,得到目标微电极。采用化学蚀刻的方式加工各层铜箔,可一次性蚀刻出不同形状的铜箔片,操作简便,加工效率高,成本低。
成果应用案例介绍
方法过程>制备方法>制备; 电力动力>电极>微电极
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