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一种导电聚合物包覆的硅基负极材料及其制备方法
成果领域:
推广方式:
成果归属企业: 深圳大学
成果鉴定时间:
成果介绍
本发明的一种双金属浮栅存储器及其制备方法,包括步骤:自下而上依次包括基底、栅极、阻挡介电层、纳米颗粒层、隧穿介电层、半导体层及源漏电极;其中,所述纳米颗粒层的材料为双金属合金纳米颗粒,所述纳米颗粒层为纳米颗粒单层。本发明通过选择双金属合金纳米颗粒,可实现对纳米颗粒费米能级的调控,从而实现对存储器展现可调的性能。另外,采用微接触印刷法制备单层结构的双金属合金纳米颗粒层,可有效节省材料,降低损耗,大大减少了存储器件制造成本。此外,本发明存储器器件结构可实现高密度存储,维持存储器器件高性能运行,调控浮栅能级实现了数据的长时间保存,并实现了双金属结构纳米粒子存储器件读写速度和记忆时间的平衡。
成果应用案例介绍
计算控制>存储器>双金属浮栅存储器件
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