在超精密光学加工领域中，离子束抛光技术利用离子溅射去除材料，使修型抛光后的材料表面粗糙度达到纳米级，主要应用在光刻物镜、大口径光学镜头、显微镜头的超精密加工。国内离子束光学加工装备的售价约为400万元/台，其技术可大致拆分为硬件设备、控制软件和去除工艺，其中关键核心是离子源,约占设备成本的20%。由于国内的射频离子源及其匹配器尚未发展成熟，在设备稳定性和寿命上与国外存在较大差距，使得国内均采购德国IOT的射频离子源。据恒州诚思（YH Research）2024年报告2023年全球超精密光学加工装备市场规模达7.5亿元，预计2030年将增长至10亿元，年复合增长率（CAGR）4.5%。其中北美占全球市场36%，欧洲占37%，中国作为增速最快的地区，市场份额持续提升。 基于上述背景，本项目提出了创新性的解决方案，采用微波离子源替代IOT的射频离子源，提出快速点火和无极调控的控制算法，开发更高效准确的去除工艺。与国内外的传统射频离子束系统对比，本项目的微波离子束系统在产生相同离子束品质的条件下，具有功耗低、功率管理简单、连续工作时间长等优势。 本项目已完成系统样机中试，技术程度7级。离子束形貌清晰稳定，离子束能流密度可控，微波离子束的高斯特性对称，束流波动率＜1%，加工效率达到IOT 的 50%。已具备一定的光学加工能力。 目标市场是超精密光学加工设备供应商和用户，业务定位是研发、生产和销售微波离子束系统及其组件。