超快激光加工系统配置高重频飞秒激光放大器及高精度大行程气浮导轨直线电机位移平台，实现亚微米级空间分辨率的加工精度；同时配置空间光调制器（SLM）进行激光焦斑整形，可将飞秒激光聚焦于透明材料内部直写加工。该系统适合对于多种结构器件进行减材制造或折射率改性制造，适用于高等院校及科研院所进行光波导直写、光纤光栅刻写、硬质材料精密切割与钻孔、材料表面微纳加工等方向研究。吉林大学超快激光精密加工团队获省部级科学技术一等奖3项，国家自然科学二等奖1项（2020年）。研究团队依托集成光电子学国家重点实验室，已完成《超快激光与材料相互作用多尺度理论与观测》《面向跨尺度飞秒激光加工的微区形态性能原位监测与分析系统研制》《飞秒激光高速、大视场微纳制造的新方法及其机理研究》等科技部或国家自然基金委重大研发项目。研究团队拥有近20年飞秒激光加工技术累积，对软材料SU8光刻胶，硬质材料包括玻璃、蓝宝石、石英、硅、金刚石、硫化锌等有雄厚的加工技术积淀。