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大尺寸电子级硅单晶炉关键技术及其应用
成果领域: 新材料
推广方式: 技术合作
成果鉴定时间:
成果介绍
硅材料来源丰富、电学性能和热稳定性好,且能在不同的温度下稳定等特点,已逐渐成为最重要的半导体材料。当今全球每年超过3000亿美元的半导体市场中95%以上的半导体器件及95%以上的集成电路都用到了硅。各国硅单晶和硅抛光片的制造水平是该国集成电路产业是否独立的重要标志。 大尺寸电子级硅单晶炉是利用直拉法生产集成电路用硅单晶的关键技术装备,在集成电路产业链中居首要地位。长期以来,电子级硅单晶炉的关键技术均由少数国家垄断,成为制约我国集成电路产业发展的瓶颈之一,其核心主要体现在技术装备和生长工艺两方面。 本项目在国家科技重大专项的的支持下,西安理工大学刘丁教授所领导的团队自主研发成功国内首台电子级硅单晶炉,并成功研制出国内第一台电子级单晶炉用大型勾形磁场,已初步具备小批量产业化能力。研制出的单晶炉已销售至国内外相关公司,取得的核心技术成果已在多个系列300余台单晶炉产品中使用。硅单晶生产及其设备产业化将势必带动我国集成电路产业的发展,推动我国半导体和集成电路市场迈入全球市场,达到国际先进水平。 据工业和信息化部统计,到2020年,中国可能成为全球最大的集成电路制造基地之一,这将带动我国半导体设备市场的大幅增长,带来巨大的经济效益。
成果应用案例介绍
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