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大尺寸电子级磁控硅单晶炉装备
成果领域: 智能装备
推广方式: 整体转让(技术买断),技术许可,合作开发,技术入股(股权合作)
成果归属企业: 西安理工大学
成果鉴定时间:
成果介绍
本项目研制了我国首台极大规模集成电路用300mm 硅单晶炉并形成系列产品,打破了国外产品的垄断和技术封锁,整体性能达到国际先进水平,在非对称CUSP 磁场设计与装置、激光液位检测方法与装置等方面处于国际领先水平。 项目获授权发明专利13 件,美国发明专利2项,制定了我国首部单晶炉技术标准。核心技术和系列产品已在相关行业推广使用并出口美国、韩国等企业,新增产值24.64 亿元,新增利润4.65 亿元,取得了显著的社会、经济效益。2012年,获得国家技术发明二等奖。
成果应用案例介绍
联系方式
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