一、成果概要

        团队拥有已经授权的、技术上比较成熟、且经过示范应用和产业化的6项国家发明专利，成果包括超精密微纳米压痕测试仪、低温微纳米压痕测试仪、高温微纳米压痕测试仪器、原位扭转测试仪、原位拉伸-低周疲劳测试仪等高端测试仪器（图1-图4为仪器图片）。成果重点解决测试仪器装备功能与关键微小机械元件结构可靠性设计，面向产业化的仪器误差补偿和闭环控制，关键元件的智能精密制造以及综合性能评测等关键共性技术。

        二、技术先进性

        团队在压电驱动控制和材料微观力学性能原位测试领域具有丰富的研究积累，项目组率先提出了针对特征尺寸毫米级及以上三维试件开展跨尺度原位微纳米压痕（Nanoindentation）测试的新技术、材料微观力学性能原位扭转测试的新技术、材料疲劳力学性能原位测试的新技术，团队相关工作先后得到国家重大科学仪器设备开发专项、国家863计划重大项目课题的资助，同时获得了科技部国际合作专项、国家自然科学基金、吉林省科技发展计划项目等多个项目的重点资助，团队成功研制的微纳米压痕测试系统在北京大学、北京工业大学等单位实现了示范应用和推广。

        三、应用领域

        科研成果可广泛应用于各类材料及其制品的力学性能测试和使役性能评价，对涉及国民经济的新材料、钢铁冶金、有色金属、微电子与半导体、汽车制造业、飞机制造业和生物医学工程等高技术产业集群的发展发挥十分重要的促进作用。

        四、专利专有技术

        1．智能驱动技术，包括智能仿生微纳驱动技术、纳米压痕/刻划测试技术等。

        2．原位微纳米力学测试技术，包括原位微纳米力学测试仪器开发技术、力学测试信号精密检测及控制技术、跨尺度原位力学性能测试及表征技术等。

        3．原位力学测试仪器动态性能分析及算法修正技术，包括原位力学性能测试仪动态性能分析技术、原位纳米压痕测试算法修正技术等。